激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

　　激光干涉儀典型的應(yīng)用就是測量機(jī)床精度，本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機(jī)床平移軸直線度誤差。

　　對于平移軸而言，每根軸均有兩個(gè)直線度誤差，因此三根軸有六個(gè)直線度誤差，均可采用激光干涉儀分別測得。

　　原理：帶有圓孔的是直線度干涉鏡，其與待測軸相連一同運(yùn)動(dòng);長條鏡是直線度反射鏡靜止安裝，其是對稱結(jié)構(gòu)，上下左右均對稱。當(dāng)一束激光從源頭發(fā)出射入干涉鏡，干涉鏡將光束分成兩束，形成一個(gè)很小的角度分別去往反射鏡，由于反射鏡上下對稱，因此兩束光被反射后又回到干涉鏡，匯合成一股光束，去往激光頭的探測器。當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸產(chǎn)生直線度誤差時(shí)，會使得干涉鏡相對于反射鏡在水平橫向方向發(fā)生相對運(yùn)動(dòng)，而反射鏡是左右對稱的(左右的鏡片不在同一平面，有一定的角度)，因此會使得兩束分開的光束光程具有差別，根據(jù)此差別，即可測得運(yùn)動(dòng)軸產(chǎn)生的直線度誤差。